去离子水一般用更高纯度的18兆欧水代替。 　　去离子水制取工艺及其特点： 　　1、离子交换树脂制取去离子水的传统水处理方式，其基本工艺流程为： 　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床→后置保安过滤器→用水点。 　　（特点：污染比较大，自动化程度低，初期投入低） 　　2、反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制取去离子水的方式，其基本工艺流程为： 　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→混床→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。 　　（特点：污染小，自动化程度高，初期投入中等，价格适中） 　　3、反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制取去离子水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为： 　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。